◆…사진:ASML
인텔은 19일(현지시간) 네덜란드 반도체 제조 장비 기업인 ASML(ASML Holding NV)에 반도체 업계 최초의 트윈스캔(TWINSCAN EXE: 5200) 시스템 구매를 위한 첫 주문을 마쳤다고 밝혔다.
ASML의 반도체 제조 장비 트윈스캔 시스템은 시간당 220대의 웨이퍼를 생산할 수 있는 높은 개구수(NA)를 갖춘 극자외선(EUV) 대량생산 시스템으로 이전 세대 트윈스캔 5000 시스템은 150개를 처리할 수 있었다.
ASML은 이번에 주문한 물량을 2024년까지 출하할 것을 목표로 하고 있다. 사장이자 최고기술책임자인 마틴 판 덴 브링크(Martin van den Brink)는 “새로운 시스템은 칩 산업이 향후 10년 동안 생산시설을 확장하는데 필요한 복잡성과 비용, 에너지 사용을 줄임으로써 리소그래피 공정을 개선할 수 있을 것”이라고 말했다.
인텔의 수석 부사장 겸 기술개발 총괄책임자인 앤 켈러허(Ann Kelleher)도 “ASML과 긴밀한 협력을 통해 가장 작은 기하학적 구조까지 발전해 온 강력한 역사인 무어의 법칙을 계속할 수 있을 것”이라고 밝혔다.
인텔은 이번에 구매한 장비를 통한 생산은 2025년부터 시작될 수 있을 것으로 기대했다. 다만 2시간 만에 진화되기는 했지만, 이달 초 베를린 공장 화재가 변수가 될 것이라는 우려도 있다.
