´º½º > »ê¾÷ > »ê¾÷

»ï¼ºÀüÀÚ, ÃÖ÷´Ü 5³ª³ë ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤ °³¹ß¡¦¸®´õ½Ê °­È­

  • º¸µµ : 2019.04.16 15:40
  • ¼öÁ¤ : 2019.04.16 15:40

°øÀå Àü°æ

¡ß¡¦»çÁøÁ¦°ø:»ï¼ºÀüÀÚ

»ï¼ºÀüÀÚ°¡ EUV(±ØÀڿܼ±) ±â¼úÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î '5³ª³ë °øÁ¤' °³¹ß¿¡ ¼º°øÇÏ´Â ÇÑÆí À̹ø ´Þ 7³ª³ë Á¦Ç° ÃâÇÏ ¹× ¿ÃÇØ ¾ç»êÀ» ¸ñÇ¥·Î 6³ª³ë Á¦Ç° ¼³°è¸¦ ¿Ï·áÇÏ´Â µî Ãʹ̼¼ °øÁ¤ ±â¼ú ¸®´õ½ÊÀ» °­È­ÇÏ°í ÀÖ´Ù.

Ãʹ̼¼ °øÁ¤ Æ÷Æ®Æú¸®¿À È®´ë¸¦ ÅëÇØ ÆÄ¿îµå¸® ±â¼ú ¸®´õ½Ê°ú 4Â÷ »ê¾÷Çõ¸íÀ» À̲ø ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ »ç¾÷ °æÀï·ÂÀ» °­È­Çϱâ À§ÇÑ °ÍÀ¸·Î ÷´Ü °øÁ¤ ¿ª·® °­È­¸¦ ÅëÇØ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ »ýÅÂ°è ¹ßÀü°ú ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ À°¼º¿¡µµ Å« ¿ªÇÒÀ» ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.

À̹ø¿¡ °³¹ßÇÑ Â÷¼¼´ë 5³ª³ë °øÁ¤Àº ¼¿ ¼³°è ÃÖÀûÈ­¸¦ ÅëÇØ ±âÁ¸ 7³ª³ë °øÁ¤ ´ëºñ ·ÎÁ÷ ¸éÀûÀº 25% ÁÙÀÎ ¹Ý¸é Àü·ÂÈ¿À²°ú ¼º´ÉÀº °¢°¢ 20%¿Í 10% Çâ»ó½ÃÄ×´Ù. ƯÈ÷ 7³ª³ë °øÁ¤¿¡ Àû¿ëµÈ ¼³°è ÀÚ»ê(IP, Intellectual Property)À» È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ±âÁ¸ 7³ª³ë °øÁ¤ °í°´Àº 5³ª³ë °øÁ¤ÀÇ ¼³°èºñ¿ëµµ ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù.

7³ª³ë¿Í 6³ª³ë ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤¿¡¼­µµ ¾ç»êÀ» º»°ÝÈ­ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¿ÃÇØ ÃÊ ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î EUV °øÁ¤À» Àû¿ëÇÑ 7³ª³ë Á¦Ç° ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛ, ÀÌ´Þ Áß¿¡ º»°Ý ÃâÇÏÇÒ °èȹÀ̸ç 6³ª³ë °øÁ¤ ±â¹Ý Á¦Ç°Àº ´ëÇü °í°´°ú »ý»ê ÇùÀǸ¦ ÁøÇàÇÏ°í ÀÖ¾î Á¦Ç° ¼³°è°¡ ¿Ï·áµÇ´Â(Tape-Out) ¿ÃÇØ ÇϹݱ⠾ç»êÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.

Ãʹ̼¼ °øÁ¤ÀÇ ±â¹ÝÀÌ µÈ EUV(±ØÀڿܼ±) ±â¼úÀº ±âÁ¸ ºÒÈ­¾Æ¸£°ï (ArF)º¸´Ù ÆÄÀåÀÇ ±æÀÌ°¡ ªÀº EUV ±¤¿øÀ» »ç¿ëÇØ º¸´Ù ¼¼¹ÐÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¸¦ ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ȸ·Î¸¦ »õ±â´Â ÀÛ¾÷À» ¹Ýº¹ÇÏ´Â ¸ÖƼ ÆÐÅÍ´×(Multi-Patterning) °øÁ¤À» ÁÙÀÓÀ¸·Î½á ¼º´É°ú ¼öÀ²À» ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù.

¹ÝµµÃ¼ Àåºñ, ¼ÒÀç, µðÀÚÀÎ, ÆÐŰ¡, Å×½ºÆ® µî ´Ù¾çÇÑ Àü¹® ¾÷üµéÀÌ ÇÔ²² ¼ºÀåÇÏ´Â ÀüÈÄ¹æ ¿¬°ü È¿°ú°¡ Å« ÷´Ü Ãʹ̼¼ °øÁ¤ ÆÄ¿îµå¸® »ý»êÀÇ ÇÙ½É ±â¼úÀ» È®º¸ÇÔ¿¡ µû¶ó ±¹³» ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ »ýÅÂ°è °­È­´Â ¹°·Ð ¿ª·®µµ ³ô¾ÆÁú °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â 1ÀåÀÇ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ¿©·¯ Á¾·ùÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Ç°À» »ý»êÇÏ´Â 'MPW(Multi Project Wafer) ¼­ºñ½º'¸¦ ÃֽŠ5³ª³ë °øÁ¤±îÁö È®´ë Á¦°øÇØ °í°´µéÀÌ º¸´Ù Æí¸®ÇÏ°Ô ÃÖ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼¸¦ Á¦ÀÛÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï Áö¿øÇÑ´Ù.

¶ÇÇÑ ÆÄ¿îµå¸® Áö¿ø ÇÁ·Î±×·¥ÀÎ SAFE TM(Samsung Advanced Foundry Ecosystem)'¸¦ ÅëÇØ ¼³°è ÀÚ»ê(IP) ¿Ü¿¡µµ °øÁ¤ ¼³°è Å°Æ®(PDK, Process Design Kit), ¼³°è ¹æ¹ý·Ð(DM, Design Methodologies), ÀÚµ¿È­ ¼³°è Åø(EDA, Electronic Design Automation) µî 5³ª³ë °øÁ¤ ±â¹Ý Á¦Ç° ¼³°è¸¦ µ½´Â µðÀÚÀÎ ÀÎÇÁ¶ó¸¦ Á¦°øÇÑ´Ù.

ÆÕ¸®½º °í°´µéÀº À̸¦ È°¿ëÇØ º¸´Ù ½±°í ºü¸£°Ô Á¦Ç°À» ¼³°èÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ½ÅÁ¦Ç° Ãâ½Ã ½Ã±âµµ ¾Õ´ç±æ ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ¼­ºñ½º¿Í »ý»ê±â¼úÀº ±¹³» ÆÕ¸®½º ¾÷üµéÀÌ ±Û·Î¹ú ½ÃÀå¿¡¼­ °æÀïÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼¸¦ °³¹ßÇϴµ¥ µµ¿òÀÌ µÉ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â ÃֽŠÆÄ¿îµå¸® »ý»ê½Ã¼³ÀÎ È­¼ºÄ·ÆÛ½º S3 ¶óÀο¡¼­ EUV ±â¹Ý ÃÖ÷´Ü °øÁ¤ Á¦Ç°À» »ý»êÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç ÇöÀç °Ç¼³ ÁßÀÎ È­¼ºÄ·ÆÛ½º EUV Àü¿ë ¶óÀÎÀ» 2020³âºÎÅÍ º»°Ý °¡µ¿ÇØ °í°´°ú ½ÃÀåÀÇ ¿ä±¸¿¡ ´ëÀÀÇØ ³ª°¥ °èȹÀÌ´Ù.

ÁÖ¿ä±â»ç

  • Ãâ»ý :
  • ¼Ò¼Ó :
  • Çз :
  • DID :

»ó¼¼ÇÁ·ÎÇÊ

×